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簡單介紹：

SIMCOION思美高超級清潔工藝設(shè)備 5225 AeroBar SIMCOION思美高超級清潔工藝設(shè)備

詳情介紹：

超級清潔工藝設(shè)備型號5225 AeroBar

型號5225氣棒電離器是專為半導(dǎo)體等超級清潔工藝設(shè)備中的應(yīng)用而設(shè)計的棒型電離器。

在世界范圍內(nèi)具有****的采用業(yè)績的單晶硅電極，伴隨著超低粒子特性，避免了電極材料引起的金屬污染風(fēng)險。
脈沖直流方式的大范圍除電能力
由全數(shù)字電路控制的更穩(wěn)定的離子產(chǎn)生和長期離子平衡
通過在除電靶附近設(shè)置5200-SR外部傳感器(可選)，可以反饋控制除電靶附近的離子平衡，而不是電離器主體(在5200-SR未連接的情況下，電離器主體內(nèi)置傳感器自動調(diào)整離子平衡)
為半導(dǎo)體前工藝設(shè)置符合EFEM的長度條
離子產(chǎn)生輸出、離子產(chǎn)生時間、報警閾值等各種參數(shù)可以在廣泛的范圍內(nèi)進(jìn)行設(shè)定，從而可以靈活地應(yīng)對長距離用途和氣流較弱的環(huán)境等。
只需輸入?yún)?shù)即可獲得高重現(xiàn)性，可在短時間內(nèi)進(jìn)行設(shè)置
除了簡單的報警IO之外，還可以通過免費(fèi)提供的DLL進(jìn)行實(shí)時監(jiān)控，有助于掌握處理設(shè)備中的狀態(tài)

Model 5225 AeroBar

Interface Module Model 5200-IM6T

SIMCOION思美高超級清潔工藝設(shè)備

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